钛靶材
元素符号：Ti
密度：4.51
纯度：99.99%-99.999%
产品详情
钛是超大规模集成电路芯片中常用的阻隔膜材料之一（对应的导电层材料为铝）。钛靶材将在芯片前制造过程中与钛环一起使用。主要功能是辅助钛靶材的溅射工艺，主要应用于超大规模集成电路芯片制造领域。
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