铝铜靶材

铝铜合金以铜为主要合金元素的铝合金,它包括Al-Cu-Mg合金、AI
-Cu-Mg-Fe-Ni合金和Al-Cu-Mn合金等,属热处理可强化合金。
合金特点是强度高,通常称为硬铝合金,其耐热性能和加工性能良
好,但耐蚀性不如大多数其他铝合金好,在一定条件下会产生晶间
腐蚀,因此板材往往需要包覆一层纯铝或6系列铝合金,提高抗腐
蚀性。其中A1-Cu-Mg-Fe-Ni合金有极为复杂的化学组成和相构成。
它在温度下有高的强度,并具有良好的工艺性能,主要用于150一
250摄氏度以下工作的耐热零件;

在集成电路的生产中,硅扩散到铝互连层中的现象很普遍。如果将饱和浓度的硅添加到铝中以形成铝硅合金,则可以有效地改善该问题。因此,我们还生产用于IC应用的铝硅AlSi溅射靶和铝硅铜AlSiCu溅射靶。可用成分:AlCu99.5 / 0.5wt%,AlCu99 / 1wt%,AlCu98 / 2wt%,AlCu95 / 5wt%

铝铜合金溅射靶的生产工艺

材料-熔融-分析-锻造-轧制-退火-显微照片-机加工-测量-清洁-检查-包装

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